洁净室工作服所用面料一般要求其所带尘杂颗粒的直径小于或等于0.2 m，而短纤或天然纤维织物的面料会产生大量纤维绒毛，所以是不可能被用于洁净室工作服的。

洁净室工作服常用的面料有机织物、非织造布和层合织物。

机织物由复丝织成，其重要特性有过滤污染物效率、透气性、透湿蒸汽速率、耐磨和静电衰减性等。其代表性的透气率(airpermeability)为1～45立方英尺/分，对0.3-0.5 m颗粒的典型过滤效率为15%～60%。涤纶长丝广泛用于机织防污染服装。其它材料有Tyvek、Gore-Tex等涂层和层合织物以及一些本身抗静电的织物。Tyvek是聚乙烯纺粘法非织造布，不掉绒毛、强度高、耐磨性好，适宜用于洁净车间，这种产品消毒容易，具有优异的截留颗粒性能。其它一些材料如导电性材料如碳纤维、镍或铝纤维制成的洁净室用织物，能够控制静电，而这是某些行业如半导体、微型芯片生产中所要求的。在具有燃烧可能性的环境中还能防止产生火花。

一般而言，洁净室工作服的面料同时具备阻燃性能和防化性能。工作服的松散的布边、洞眼、裂缝等都应杜绝。一些容易聚集灰尘的地方，如口袋折叠领、笔袋、变印等也应该避免。

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